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: 芯片超纯水设备主机系统：二级RO+EDI设计，二级RO前加碱除CO₂是红线

半导体超纯水设备主机系统是整套系统的“心脏”，由两级反渗透RO+edi电去离子双单元耦合组成。本文详解两级RO：一级RO截留90%-99%盐分，二级RO需前端加碱调节pH至8.0~8.5，将游离CO₂转化为碳酸氢根被彻底截留，产水电导率稳定≤3-5μS/cm。EDI系统的刚性进水指标：电导率＜40μS/cm、余氯＜0.02ppm、硬度＜1.0ppm、TOC＜0.5ppm。三大设计细节：前置1μm保安过滤器、一拖一独立整流电源、极水低流量联锁保护开关。主机把控水质上限，是普通纯水与18.2MΩ·cm电子级超纯水的核心分水岭。

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