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纯水处理设备
预处理系统设计要点
根据GB50685-2011《电子工业纯水系统设计规范》,纯水制备系统应由预处理、脱盐及深度处理和精处理三阶段组成,其中预处理阶段的水质必须满足脱盐装置进水水质的要求。对于设计院和工艺工程师而言,一套设计合理的预处理系统,直接决定了后续RO膜、EDI模块的使用寿命和产水稳定性。本文从设计规范与工程实践角度,梳理微电子车间
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