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超纯水设备安装场地要求-七大核心条件-自检清单
超纯水设备(半导体、电子芯片行业)对安装场地要求严苛,忽视将导致RO膜/EDI/抛光混床损坏、水质不达标。本文系统梳理七大核心条件:①避开湿热振腐,湿度<80%、温度5~40℃;②预留操作空间(正面≥1200mm、RO抽膜侧≥1500mm);③地面水平误差≤2mm/m,承重800~2000kg/m²,防静电环氧地坪;④给排水预定位(原水0.2~0.4MPa,排水DN50);⑤电力380V/50Hz,接地电阻≤1Ω,配稳压器/UPS;⑥通风换气≥8次/h,照度≥350Lux;⑦电子级机房
洁净度iso7
级(万级),防微振。附完整自检清单(11项)。保障超纯水设备长期稳定运行,避免经济损失。
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