超纯水设备中EDI出水水质如何判定达标？行业标准：电阻率15~17MΩ·cm（25℃），CO₂＜1ppm，硬度趋近于0。本文提供三步判定法：①在线仪表实时监测（电阻率稳定、无波动）；②前置二级RO产水电导率＜5μS/cm，CO₂＜1ppm；③离线实验室检测TOC＜10ppb、二氧化硅＜10ppb、金属离子ppb级。同时揭露“假性达标”现象（仪表未校准、新冲洗后短时冲高、温度补偿异常），并给出水质不达标典型诱因（进水CO₂超标、模块结垢、电流参数不当）。帮助运维人员精准判断超纯水设备EDI单元工况，保障后端抛光混床进水质量。