超纯水设备（半导体、电子芯片行业）各单元故障如何排查？本文系统性梳理：预处理（浊度超标、余氯泄漏、硬度超标、保安过滤器压差高）→二级RO（产水电导率升高、产水量下降、段间压差高）→EDI（电阻率下降、压差升高、电压异常）→抛光混床（电阻率＜18.2MΩ·cm、TOC升高）→分配系统（回水电阻率低、微生物超标、终端超滤流量下降）→仪表与控制系统（电阻率仪波动、流量计不准、PLC死机）。提供快速故障排查逻辑（先仪表、再分段、后部件）及预防性维护建议（每日记录、每周检测、每月校准、每季度清洗）。帮助运维人员快速定位超纯水设备故障，保障连续稳定运行。