超纯水设备触摸屏正常、无报警，但产水流量为零？这类隐蔽故障排查难度高。本文针对主流工艺（预处理→二级RO→EDI→抛光混床），系统拆解七大成因：进水条件异常（原水箱液位低、阀门误关）、预处理滤芯堵塞（保安过滤器压差＞0.1MPa）、水泵空转/故障（接触器、变频器异常）、压力保护开关隐性动作（低压/高压触发无弹窗）、气动/电动阀门执行失效、EDI/抛光混床后端堵塞、PLC控制信号中断。提供从易到难的分步排查方案，以及半导体产线快速实操要点（检查原水泵、低压开关、浓水阀等）。附预防措施，帮助运维快速恢复超纯水设备制水能力。