信德水处理（苏州）有限公司为嘉善斯达半导体量身定制的2t/h超纯水设备顺利完成安装调试并正式投用。该客户专注于以IGBT和SiC为核心的功率半导体芯片和模块的研发、生产及销售，对超纯水水质要求极为严苛。
本套设备产水电阻率稳定大于18MΩ·cm，全面满足功率半导体芯片制程对超纯水的最高标准，为IGBT、SiC产品的良率提升与品质稳定提供坚实保障。
一、项目背景：功率半导体高端制程，超纯水是关键
以IGBT和SiC为代表的第三代功率半导体芯片，广泛应用于新能源汽车、轨道交通、智能电网、光伏逆变器等高可靠性领域。芯片制程中，超纯水直接参与清洗、蚀刻、光刻等关键环节，水中微量金属离子、颗粒物、TOC（总有机碳）、溶解氧等污染物均会导致芯片性能劣化或报废。
嘉善斯达半导体对超纯水系统提出极高要求：产水电阻率需稳定大于18MΩ·cm，TOC需控制在极低水平，且全系统需杜绝金属离子析出风险，确保24小时不间断稳定供水。
二、核心工艺：多级精滤+深度提纯，精准匹配18.2MΩ·cm标准
信德水处理技术团队深入现场调研，结合原水水质及客户用水峰值，量身定制了以下成熟工艺路线：
预处理系统
多介质过滤器+活性炭过滤器+钠离子软化器+保安过滤器
有效去除原水中悬浮物、余氯、胶体及硬度离子，防止膜系统结垢，保障后续设备长期稳定运行。
一级反渗透+pH调节+二级反渗透
双级RO组合，完成高精度脱盐，高效去除水体中绝大部分溶解性盐类、有机物及细菌，为EDI提供优质进水。
紫外杀菌器+0.45μm精密过滤器+EDI装置
紫外杀菌有效控制微生物，0.45μm精密过滤器拦截微粒，EDI连续电除盐稳定产出高纯水。
氮封水箱+TOC去除器+抛光混床系统
氮封水箱隔绝空气中二氧化碳及颗粒物污染，TOC去除器将总有机碳降至极低水平，抛光混床进行最终深度提纯，确保出水电阻率稳定大于18MΩ·cm。
0.1μm终端过滤器+板式换热器
终端精密过滤截留极微量颗粒，板式换热器精准控温，确保超纯水以最佳温度进入生产环节，并实现循环用水。
三、管道选型：U-PVC超洁净管，杜绝金属离子污染
针对功率半导体芯片对金属离子的零容忍要求，整套设备管道全部采用U-PVC超洁净管。该材质具有优异的耐腐蚀性和极低的离子溶出特性，有效避免不锈钢等金属管道可能析出铁、铬、镍等金属离子污染水质，确保超纯水从产水端到使用端全程洁净。
四、智能化亮点：全自动控制，无需专人看守
- 全自动PLC控制：一键启停，自动运行，实时在线监测电阻率、电导率、流量、压力等核心参数，设备状态一目了然。
- 自动正反洗：多介质过滤器、活性炭过滤器、软化器按设定周期自动完成正洗、反洗，维持过滤性能稳定。
- 自动报警系统：出现低压、高压、缺水、过载等异常时，系统自动声光报警并保护停机，保障设备与人员安全。
- 无人值守设计：全流程自动化运行，无需专人值守，大幅降低客户运维成本。
五、客户价值
- 超纯水质：产水电阻率稳定＞18MΩ·cm，TOC、颗粒物、金属离子等指标全面满足功率半导体芯片制程要求。
- 杜绝金属污染：U-PVC超洁净管输送，从源头避免金属离子析出，保障产品良率。
- 稳定可靠：多级精滤+EDI+抛光混床+终端过滤组合工艺，水质波动极小，24小时连续稳定产水。
- 智能省心：全自动运行，自动清洗、自动报警，无需专人看守，大幅降低人工与运维成本。
六、关于信德水处理
信德水处理（苏州）有限公司是一家专注于高端工业水处理系统研发、生产、销售及运维服务的高新技术企业，拥有5000㎡现代化厂房。核心技术团队具备多年功率半导体、集成电路、新材料、生物医药等高精领域项目经验。
公司提供从工艺定制、设备智造、安装调试到合规运维的全流程一站式服务，致力于为每一位客户提供最可靠的超纯水解决方案。
以信为约，以德为本。
信德水处理，不负每一份托付。